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老上光仪器总厂

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半导体晶圆检查显微镜

半导体晶圆显微镜JX-22A

产品名称:半导体晶圆显微镜JX-22A

产品型号:JX-22A

产品规格:50-500倍

移动平台:(6*6英寸8*8英寸)


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性能特点:
1、系统配置了大尺寸、大范围移动载物台,适合大工件的检查。
2、采用大视野目镜和长距平场物镜,视场宽阔、平坦,成像清晰。 
3、采用“T”型防振结构设计,机械载物台可慢速或快速移动试样。
4、整机采用了防霉处理,保护了镜头,延长了仪器的使用寿命。 

5、配置了偏光装置并可选配暗场、微分干涉装置,拓展了功能。。

典型应用:
1、分析金属、矿相内部结构组织。2、电子厂PCB板、芯片检验。
2、观察材料表面的某些特性,如:划痕、裂纹、喷涂的均匀性


序号

名称

技术参数

01

平场目镜

大视野 WF10X(Φ18mm)

02

长距平场物镜

PLL5X/0.1210X/0.2520X/0.4040X/0.60(可选配半复平场消色差物镜)

03

总放大倍数

50X-400X

04

观察头

三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)

05

转换器

 (外向式滚珠内定位

06

粗微调调焦范围

粗微动同轴调焦微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置

07

载物台

三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm

(标配8寸移动台,可选6)

08

光瞳距离

53-75mm

09

滤色片

蓝、磨砂

10

落射照明系统

6V 20W卤素灯,亮度可调

带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(,,绿)滤色片和磨砂玻璃


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