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老上光仪器总厂

北京教委定点合作服务商 | 精密仪器行业协会会员单位专注显微镜领域研发生产50年

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半导体晶圆检查显微镜

半导体晶圆显微镜JX-23A

产品名称:半导体晶圆显微镜

产品型号:JX-23A

产品规格:50-500倍

移动平台:(8*8英寸12*14英寸)

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152 0116 0776

JX系列大工作平台半导体检查显微镜,采用研究级显微镜R照明系统和光学系统,人机工程学设计全面提升,照明均匀,成像清晰,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。突破性的大金相机架设计,支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒

30°倾斜

0°- 35°倾斜

正像,无限远铰链式三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,

分光比:100:0或0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调

物镜

明暗场半复消金相物镜5X、10X、20X、50X

转换器

明暗场五孔转换器,带DIC插槽

调焦机构

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm;带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置,内置100-240V宽电压系统。

载物台

8英寸三层机械移动平台:

平台面积525mm×330mm

移动范围:210mm×210mm

12×14英寸机械移动平台:

平台面积420mm×718mm,

移动范围:305mm×356mm;


低手位X、Y方向同轴调节;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;玻璃载物台板,(反射用)

晶圆辅助台

选配

反射照明系统

明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置; 带滤色片插槽与偏光装置插槽

 

摄影摄像

0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;DIC微分干涉组件; 反射用干涉滤色片组;高精度测微尺


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