西城镀膜厚度测定用专业仪器厂商-光刻胶简介

作者：发布时间：2022-07-02 20:45:43点击：1953

信息摘要：

大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：镀膜厚度测定用专业仪器厂商-

大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：

镀膜厚度测定用专业仪器厂商-光刻胶简介

光刻显影后（5nm线宽，1微米厚的光刻胶（350nm）），

在氧化层的硅片表面镀金30nm，镀完后，在丙酮泡30分钟都没有什么效果，

去不了胶，照理说金的厚度并不至于把光刻胶包上啊，怎么就是去不了胶。

用超声试过，胶能去除，但是同时把需要的金薄膜也去除一部分了

回答

问题是lift-off困难的问题。首先lift-off要有under-cut结构才能很好地进行，

如果出现over-cut就会影响lift-off效果。当然如果镀膜方法选择得当，比如电子束蒸镀，

也能让lift-off进行顺利些。解决问题的主要办法就是获得under-cut结构，

比如用双层胶工艺或用lift-off resist等。另外，我知道有很多胶都有除胶剂，

光刻胶就配有相应的除胶剂

网站网友点击量更高的文献目录排行榜：点此链接关注页面底部公众号，开通以下权限：一、获得问题咨询权限。二、获得工程师维修技术指导。三、获得软件工程师在线指导 toupview,imageview,OLD-SG等软件技术支持。四、请使用微信扫描首页底部官主账号！

本文标签：

联系电话