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表面品质孔壁观察分析测量-电解抛光实验显微镜
四种研磨精修技术，分别为螺旋研磨法、抖动研磨
法、超音波振动研磨法及电解抛光法，针对微细放电后之微孔或异形微孔，
进行线上的研磨精修加工，改善微孔的孔壁表面品质。
实验结果显示，以精修微细圆孔为例，采用螺旋电极研磨法或高频抖动研磨
加工法，孔壁表面均可获得显着的研磨效果，表面粗糙度值由研磨前之 2.11 Rmax
降低至 0.85 Rmax，在研磨加工时间上的比较，螺旋电极研磨法约需 120 分钟；
利用此加工法搭配超音波振动，则加工时间
可降至 30 分钟，而采用高频抖动研磨法仅需 15 分钟。针对异形微孔；
采用超音波研磨法或电解抛光法，由 AFM 量测表面粗度值显示，孔
壁表面粗度值 Rmax 由 0.957μm(Ra 0.11μm) 降至 0.31μm
(Ra0.015μm)；再由 SEM 的观察显示，孔璧表面甚为光平。在研磨加工
时间上的比较，超音波振动研磨法约需 45 分钟，而电解抛光法仅需5 分钟，
即可得到光滑平整的微孔孔壁。
关键字：微放电加工、线放电研磨、抖动研磨、电解抛光、微细孔
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