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微小元件的加工及成型轮廓测量工具显微镜
微小元件的加工及成型，主要原因是微能量放电加工法具有
下列特性：
1. 非接触式加工：由于电极与工件之间并不直接接触，存在有
5-50μm 的极间间隙，在加工时对工件所产生的作用力(爆压力)
非常小，约数牛顿-数十牛顿(N)[5]，因此没有切削力、机械应力
之困扰，加工时比较不受材料机械性质的限制。放电加工过程中
所形成之放电柱内的温度高达几千度，因此对难切削材料更容易
发挥其优异的加工特性。
2. 加工精度高：由于是微能量加工，加上放电点的面积小
(次微米以下的等级)，因此加工量很小，加工精度自然就会比较高，
所以极适合微细加工。
3. 加工尺寸小：微元件的更大特色即为小尺寸的加工，因此加
工机的行程不需要太大。
4. 不受材料形状的限制：由于加工时没有切削力量产生，所以
对于薄板工件也非常容易加工。
5. 加工设备便宜，维护容易。
由于放电加工具有上述优异的特性，因此在各生产制造领域逐渐
受到重视，目前已经被广泛应用于各类模具的制造、各种难加工材料
的加工(超硬合金、导电陶瓷、钛合金等)、微细精密零件的加工(微阀、
微细纺口、发动机喷油嘴等)及复杂形状的成型加工
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