西城微器件（毫米以下纳米以上）的尺寸,微装配辅助显微镜

作者：发布时间：2022-07-02 20:30:48点击：514

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微器件（毫米以下纳米以上）的尺寸,微装配辅助显微镜

微器件（毫米以下纳米以上）的尺寸效应，给微装配带来以下的

困难：

（1 ）由于器件的尺寸减小，重力的影响下降，静电力，范德化

力和表而张力占统治地位。特别是表面张力，当操作手爪接近微器件

还未与之接触时，该力使微器件跳起并吸附在手爪上，而当手爪释放

器件时，该力使器件不能释放，从而破坏了微装配的定位精度。

（2 ）由于微器件的重力影响下降，微装配时不能形成有效的力

反馈，从而在装配时很容易换坏易碎的微器件。

（3 ）由于微器件的尺寸很小，它的制造误差也更小，通常是亚

微米或纳米级的，这就给装配时的定位精度提出了很高的要求。

为了克服上面的困难，微装配一般采用显微视觉对操作机械手进

行闭环控制。机械手的末端执行器上装有微力传感器构成力的反馈。

在待装配器件没有接触时，利用视觉进行引导，而当器件接触时，采

用力反馈控制精密装配。

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