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电子型检测显微镜的纵向放大倍率为50万倍
薄膜技术正在迅速发展,因此,测量容易剥离的蒸镀
面阶梯差和在200-1000A左右范围来测量断面形状的要求有所
增加.本仪仪是根据这种要求而研制的测量仪.
(1)在检测仪中,如以纵向放大倍率为50万倍,并为了侧
定软弱表面,测量力比过去要更小,必须进行50毫克以下的
设计.
(2)正如上述,为了用小的测量力测量微小的位移(0.002
微米程度),对振动要加以考虑,在机构的选择及结构设计上是
极为重要的,
接触式测量仪,测量头经常接触被测物体,如被测物体由于
外部振动影响而移动,会测得这种变动,并当作原来形状的变化.
此外,测量仪自身的振动,影响测量头,这也会被测量出来.最‘
近,关于对表面粗糙度测量仪的振动影响的研究已有所进
展,对本仪仪来说,这种振动问题就显得更为重要了.
检测部分
检侧部分上的重要装置是纵向放大装置、横向放大装置和光
杠杆用的照明装置.所以,就这些装置的机构.对它们的机构设
计规定了如下的必要方针:
(a)纵向放大倍率用的放大机构
(b)横向放大倍率用的放大机构
装在表面粗糙度浏定仪上最简单的横向放大倍率用的放大机
构是这样一种机构,放在被测零件上的台架和记录纸卷筒通过皮
带轮由电动机来驱动,以两者的速度比来决定记录纸上的横向放
大倍率.当用这样的机构时,因为画出断面形状曲线的针孔像在
一定位置只向上下方向移动,所以用肉眼观察来求表面粗糙度的
形状就有困难.因此,要考虑能利用针孔像在固定不动的平面屏
幕或平放的感光纸上画出具有一定纵向放大倍率和横向放大倍率
的断面形状曲线的机构.为了要适应这种机构,以便用肉眼观察
求出断面形状曲线.为此,对应于装有触针的杠杆的移动,使反
射镜转动,重新设计针孔像作横向移动的机构.
再者,针孔像对感光纸达到完全感光程度的反射镜的旋转角
速度,换言之即触针夹持杠杆的移动速度,必须是在侧量时使触
针完全追随被测表面的速度.
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