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精细结构分析技术以及显微分析用材料显微镜
分离法
在扩散层中析出的氮化物和化合物层中的氮化物以化学方法
使之与基体分离。这种分离可在合适的介质中有选择的溶解恭
体，也可通过电流的作用，如阳极溶解来实现。
按分离的撼化物，利用合适的化学方法便可确定金属和氮的
含量。
特殊物理方法，如X射线精细结构分析技术以及显微探针分
析技术还可对渗层的化学成分进行更深入的研究。作为化学分析
的补充，还可以进行氮和金属分布的分析以及化合物组成的分
析。
为了测定化合物层中以氮化铁形式存在的氮，通常要利用一
个适宜的设备将化合物层完整地或逐层地剥离，然后对这些剥屑
进行分析。逐层剥离法可以测定出氮浓度分布。
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