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微器件的尺寸微装配,光学传感仪器定制厂商
视觉一力反馈微装配方法
微器件的尺寸效应使得器件的重力影响下降，这种情况不仅影响器件的定位、抓取和
释放，也影响力的反馈。由于器件的尺寸很小，很容易损坏，而静电力、表面张力和范德化
力非常小，并且模型化困难，所以要完成器件的装配，必须用特殊的传感器进行力的反馈
控制。另一个方面是，对于视觉传感器只能用于装配器件未接触时的运动控制，当器件接
触时，视觉传感器并不能起作用，所以在器件接触时，必须采用力传感器控制装配。使用
力传感器有两个目的:其一，防止脆弱的微器件在相互接触时损坏;其二，在力的控制下完
成的装配。
用视觉/力反馈混合控制的微装配方法。种方法为使用光学传感
器控制装配力的大小，第二种方法为利用传统的力传感器控制装配力的大小。
对微力的反馈，光学技术有很大的优势，这是因为这类传感器并不使用电磁理论，具
有很好的抗干扰性，并且分辨率高，大部分的原子力显微镜都使用该技术，这也表明光束
的偏转具有很好的特性。该技术的主要优点是具有非接触性。图4一30是利用光学偏转
方法测量微力的原理
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