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AEM基础上建立起来的声学显微技术,陶瓷、金属结构分析
常规的AFM也仅能观察试样的表面形貌。两种近场声学显
微成像的方法：一种叫扫描电声显微成像(SEAM)，它是把扫描电子显微术和声
学显微术巧妙地集成一体，既具有电子显微术高分辨率的特点，又具有声学显微
术非破坏性内部成像本领。第二种是在AEM基础上建立起来的声学显微术，，称
为扫描探针声学显微术(SPAM)，可以用来对试样进行畴结构和内部缺陷的研
究。这两种声学显微术的分辨率与声波波长无关，与近场光学显微镜比较，又称
为近场声学显微镜。下面将着重介绍这类成像技术的物理过程、特点、实验方法
以及在功能陶瓷显微结构，特别是在极性功能陶瓷畴结构分析上的实际应用。
为了展现SEAM的特殊功能，文中还介绍了某些结构陶瓷、金属以及电子器件的电
声像。
扫描电声显微镜把电子光学技术、弱信号检测技术、高灵敏度压电传感技术、
图像处理技术和计算机技术融为一体，形成了一种独特的非破坏性表面和亚表面
成像技术。这一技术正越来越多地受到人们的重视与研究。
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