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微光学元件:角锥状反射镜、柱状镜、微透镜
各种微光学元件，包括角锥状反射镜、柱状镜、
微透镜、以及各种非球面透镜，都将采用移动工件平台的拖拉式加
工方法。因此我们试着固定激光剂量与激光重複率，以改变拖拉的
速度（dragging velocity）控制各种元件，如直角锥阵列的深宽比、
圆柱状镜以及微透镜或是各种非球面镜的曲率，试图找出制程参数
与曲率或是深宽比的相关函数变化。
电脑设计加工光罩形状
以电脑程式（Matlab）模拟激光加工后的加工结果，可以得知
预估模拟加工后的加工形状。
微直角锥阵列
加工过程是激光光透过三角形光罩在移动的工件进行拖拉式加
工，最后得到直线长条形的截面为三角形的直线长条形沟槽。然后
将工件旋转 90 度，再进行一次拖拉式加工，就可获得以直角座标格
子点座标排列的微角锥阵列。所以我们就利用电脑设计如同实际加
工的过程，加以模拟设计，首先我们先绘出一直角三角形之沟槽阵
列，再绘出一道与其垂直之直角三角形之沟槽阵列，再将绘一平面，
如此将此平面减上两道直角三角形之沟槽，就可模拟设计出我们需
要之微直角锥阵列，所示为电脑模拟微直角锥阵列图，
所示为电脑模拟微角锥阵列的等高线图。
由模拟设计结果得知，以微直角锥阵列为例，在三角形光罩的顶点位置，也就是
三角形沟槽的凹点处，若是位于两个相互垂直的三角形沟槽凹点处，
则会形成直角锥状的更低点。反之，若在位于两个相互垂直的三角
形沟槽两侧顶点处，则会形成直角锥状的更高点，故我们由模拟设
计之微直角锥真列可知，我们所需要之立体直角锥，即为我们加工
直角三角形沟槽所交叉拖拉工件的地方，并需旋转 45 度的角度，
此即为我们的微直角锥阵列。
客服1