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微光学元件之量测-电脑模拟微透镜
电脑模拟微透镜阵列图
由模拟结果得知，以激光光透过圆弧形光罩之加工后微透镜确
实比激光光透过半圆形光罩之加工后微透镜较为接近球面，也比较
接近圆对称，左图为半圆形光罩加工之微透镜
等高线图，右图为圆弧形光罩加工之微透镜等高线图，故圆弧形光
罩加工之微透镜有比要好的镜面结构，在光点聚焦上也比较容易聚
成点，也比较不会有光的散射。
微光学元件之量测
微光学元件的量测分为表面轮廓量测与光学特性量测两部分来
微光学元件表面轮廓量测
元件表面的粗糙度会直接影响微光学元件之特性，如果表面粗
糙太过严重会使其光学效率大大的降低，因此经由准分子激光拖拉
式加工之后的工件，我们都必须进行表面轮廓的量测。而我们是采
用光学显微镜、干涉仪（Zygo）、薄膜测厚仪（α-stepper）及扫描
式电子显微镜（SEM）分别对元件表面进行表面外观形状、蚀刻深度
等的量测，并且利用电脑计算出加工后工件之粗糙度，目的在于对
元件作初步的检验与评价制程的品质。
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