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由钽的研磨速率量测结果得知，添加Al2O3粒子于去离子水中，研磨速率随粒子浓度的增加(1 ~ 15 wt%)而
提高(2.6 ~ 118 nm/min)；但再添加H2O2或柠檬酸于1 wt% Al2O3研磨液中，却无法量得研磨速率。
根据XPS和电化学性质的分析结果，这是由于H2O2或柠檬酸易使钽的表面生成Ta2O5，而且欲移除Ta2O5相较于
金属钽更加不易所致。此外，由AFM的量测结果可知
添加不同浓度的Al2O3粒子于去离子水或是9 vol% H2O2 + 0.01 M柠檬酸的研磨液中，当Al2O3粒子浓度超过
10 wt% 后，研磨后表面粗糙度的平均值均非常接近Al2O3粒子的粒径，约50 nm。
另外，铜/钽可能因为同时曝露在研磨液中而发生金属间的伽凡尼腐蚀，所以本研究亦探讨氧化剂(H2O2、Fe(NO3)3
和KIO3)和面积比例对铜/钽伽凡尼行为的影响。添加不同的氧化剂于0.01 M Na2SO4 + 1 wt% Al2O3的研磨液中，
由开路电位及伽凡尼电流的量测结果得知，不论于研磨或是静置，在含H2O2或是KIO3的研磨液中，
钽均为铜/钽电偶中的阳极；但是，在含KIO3的研磨液中所量得的钽阳极电流密度值小于在含H2O2的研磨液中所量得的
结果。当添加的氧化剂为Fe(NO3)3，铜/钽电偶中的阳极则变为铜；
而且在静置下所量得的铜阳极电流密度值大于在研磨中所量得的结果。至于铜/钽不同面积比例的影响，
根据开路电位及伽凡尼电流的量测，当铜/钽电偶中的钽电极面积减少至原来面积的1/5倍，在含Fe(NO3)3的研磨液中
因为研磨之故，钽会与铜发生极性转换的现象
但是，在含H2O2或是KIO3的研磨液中，研磨并不会导致极性转换现象的发生。
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