显微镜成像特点2018年度(1)一级注册测量师计量
作者: 发布时间:2022-07-02 17:28:55点击:1479
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随着科学技术的发展,微电子学、材料科学、精密力学、生命科学、生物学等领域的研究已经深入到原子领域,为了适应这一发展,迫切需要纳米和亚纳米精度的测量。具有计量意义的NT系统。因此,自20世纪80年代以来,一门崭新的学科——纳米计量学逐渐兴起。
1982、扫描隧道显微镜(STM)在世界上是由德国物理学家集结IBM苏黎世研究实验室和瑞士物理学家Lorell设计的,他获得诺贝尔物理学奖1986。STM的原理利用物理隧道效应和隧穿电流。它使用一个非常薄的探针(针的前端是一个单一的原子)的方法在试样的表面,并将探针与样品之间的偏差。隧穿电流时产生的探针和样品接近纳米的距离,和大小是成反比的distance.stm在测量中的应用:一是保持隧道电流作为反馈的一个固定值,它是用来检测表面试样的形貌;另一种是测量电流来表征距离的探针和样品之间的隧道。
在扫描隧道显微镜(STM)的基础上,发展了一系列测试技术和仪器,如原子力显微镜(AFM)、扫描近场光学显微镜(SNOM)、光子扫描隧道显微镜(PSTM)。有可能在人类历史上观察到单个原子在物质表面的排列状态,并成功地实现了原子的重新定位。
但是,这些仪器只观察分子的内部结构,没有定量的概念,在实际计量应用中,必须解决可追溯性问题,建立计量标准,即提供一种可追溯长度测量方法。自上世纪90年代以来,各国的科学家进行了大量的研究,中国计量科学院与德国PDB公司合作研制了一台自校准测量原子力显微镜。圆周仪等,解决了单维的跟踪和测量问题。1994年NIST成功研制了台分子测量机。它是一种测量范围50mm 50mm 12mm,空间测量不确定度1nm的超高精度三坐标测量机,采用可跟踪光源的超高分辨率外差激光干涉仪作为测量系统。干涉仪利用光学8次频率和相位100细分实现分辨率为0.075 nm。在分子测量机中有两种类型的探针:低分辨率测量用共焦光学显微镜和隧道显微镜或原子力显微镜用于高分辨率。洗脱测量。
分子测量机不仅解决了测量溯源问题,实现了纳米测量的真正意义,而且可以操作分子和原子簇(甚至单个原子),可应用于微机械、纳米管、纳米材料加工等领域。技术领域。它是纳米技术研究和应用不可缺少的重要手段。
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