西城FE-SEM仪器观察纳米大小的物体-体视显微镜厂商
作者: 发布时间:2022-07-02 20:51:57点击:1044
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用FE-SEM仪器观察,金属点的分布情况下讨论在成长金属点阵
是以直流溅镀白金以及热阻丝蒸镀铝的差异。
溅镀白金举离后以FE-SEM显微镜观察之照片。
可以看出在举离后,所留下的较暗的痕迹明显与奈米球举离前的六方最密堆积
之图案近似,且暗点中心间距与奈米球的大小接近,
因此可以判断较亮的部份为白金膜,只是白金膜彼此相连并未成岛状分布图案。
相较于的蒸镀铝膜举离后的结果,可明显看出深色圆形图案与奈米球原先的
大小及分布均相同,较亮的部份则为举离后留下了的铝膜,呈现近似三角形的点
状阵列。此两种结果的不同,可能的原因是溅镀是在较高的压力下(约50 mTorr) ,
粒子的平均自由径较短,因此金属原子容易因相互碰撞而扩散,
以致于奈米球无法有效作为遮罩遮蔽金属原子,因此镀上的白金彼此相连,
举离后无法留下岛状阵列。而在蒸镀中,压力小于10-5 Torr,平均自由径可长达
数十cm,因此奈米球可成功的遮蔽金属原子,而镀上铝膜可成功的留下与理论所
预期相同的金属点阵列。不过对于举离前的奈米球完整区域,
在举离后留下的规则金属点阵列区域不如预期的多,
在这一方面的实验需要更进一步的努力空间
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