西城溶凝胶制备氧化锌透明导电膜-光学特征

作者：发布时间：2022-07-02 20:51:49点击：1027

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溶凝胶制备氧化锌透明导电膜-光学特征

以溶凝胶(sol-gel)法，藉由改变铟掺杂比例，合成稳定之胶态镀膜液。经

涂佈沉积(spin-on-deposition)于玻璃基板上，适当之热处理后，形成结晶性的掺

铟氧化锌薄膜(ZnO:In)，当锌与柠檬酸3:1、当铟掺杂量为3at%时所合成之IZO薄膜，

在可見光区(400~800nm)之透光率可达70％。

此溶胶凝胶镀膜液可于常温下进行操作，相较于传统的真空成膜系统，

更加节省制程的成本而减少特殊溶剂的使用量。

探讨制程參數，包括热处理温度与合成系统之不同掺杂量、

对IZO薄膜电性及光学性质之影响。

以溶凝胶法制备氧化锌透明导电薄膜掺杂铟(IZO)镀膜液，经过二次退

火热处理，确实可制成具有透光和导电的透明导电薄膜，经此研究证

实650℃真空烧结一小时、再通入氩气加氢气烧结一小时，IZO薄膜以

掺杂量为原子比3at%具有更低片电阻，而且透光度可达70%。

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