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工件表面粗糙度测量仪器-光学式测量显微镜
微型空气轴承中含入表面粗糙度的影响之下，稳态负载、动态特性与稳定性之变化。
在这些条件下我首先发现在极低间隙润滑问题中，稀薄气体效应与表面调节因子的作用不容忽视，
我将在传统润滑方程式中导入压力流率及剪切流率修正因子。进而在表面粗糙度的影响下，将粗糙度因子、
压力流率修正因子及、剪切流率修正因子导入方程式中，结果可获得含粗糙度与稀薄气体效应之润滑方程式。
透过微扰法对此方程式线性化，可推导出零阶与一阶方程式，并以有限元素法求解。
研究结果可针对不同表面粗糙度、轴承运转参数、稀薄气体效应(表面调节系数)以及激振频率之
稳态负载压力及动态系数(刚性系数、阻尼系数)进行分析，然后将所得到之动态系数与激振频率回代至所设计之程式，
找出轴承稳定性之关键质量，对含粗糙度之微型空气轴承在不同的操作参数下进行稳定性的分析与讨论。
针对粗糙度效应中，不同的粗糙度标准差与粗糙度型式分析出粗糙度效应对轴承运转特性的影响、
反纽森数以及稀薄气体效应相对于不同粗糙度标准差下对轴承的稳定性影响
、以及偏心的状态下粗糙度效应的影响所造成轴承的运转特性与稳定性
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