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矿石内部的晶体结构与微观结构分析光学显微镜
TiO2 镀膜的晶体结构与微观组织分析
为不同沉积时间所得 TiO2 镀膜之 XRD 绕射
图形及截面形态，由 XRD 绕射图中可看出当沉积时
间为 15 min 时，由于沉积时间较短、基材温度较低，
以致所得之晶体结构为金红石结构。随着沉积时间的
延长，锐钛矿相的绕射锋强度逐渐增加，当沉积时间
达 30 min 时，TiO2 镀膜开始具有更大的锐钛矿相(101)
绕射锋强度，同时锐钛矿相(004)绕射锋亦明显增强。
由此可以看出 TiO2 镀膜成长机制乃优先成长为金红
石相，接着成长锐钛矿相。由 TiO2 镀膜之截面形态得
知，随着沉积时间增加，镀膜厚度逐渐增厚，镀膜并
且从初期无特定形貌之外观转为较细致之柱状晶，最
终转变为较粗之柱状组织。此乃镀膜成长过程中，受
钛离子持续轰击而使堆积原子获得蠕动排列的机会，
而发展成更完整的晶型。沉积时间 60 min 后所得之
TiO2 镀膜厚度可达 5 μm，换算其成长速率约为 5
μm/h，明显高出众多的 PVD 制程
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