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光学元件常识，购置高分辨率的荧光显微镜测定细胞
光学元件依照其原理来区分，大致上可以分成折射式光学元件
(Refractive Optical Elements，ROEs)与绕射式光学元件(Diffractive
Optical Elements，DOEs)两种。
绕射式光学元件，具备着多样光学功能的特点，其体积、重量皆
可比折射式光学元件来的小，尤其在微光学系统中的应用，绕射式光
学元件极具发展的前景。至今，绕射式光学元件已经被广泛的运用于
光电产品之中，如光学读取头、条码读取机、激光印表机、激光准直
透镜以及微小微透镜阵列支聚光、成像与扫瞄装置，甚至于下一代高
速平行计算系统中成为重要的光学连结元件。
灰阶光罩的优点
制作绕射式光学元件的方法有很多种。由于现今半导体制成技术
的成熟，故用半导体制程中的光罩微影技术，可达成大量制作的目
的，本论文所提之绕射式光学元件，亦是以光罩微影技术制作。然而
为了要提升绕射式光学元件的效率，会将元件制作成多阶的形式。如
在传统上，多位阶的绕射式光学元件，会透过二元多光
罩与蚀刻制程(Binary Multimask-and-Etch Fabrication Process)来制作
欲制作 2N
之绕射式光学元件，需要 N 个不同图案的光罩，N 次
曝光以及 N 次蚀刻的程序，然而每一次曝光，光罩还需要再定位对
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