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高解析度电子显微技术的应用简介-颗粒状碳纳米结构
为了发展具有应用潜能的纳米解析度磁记录媒体，利用电子迴旋共振化学气相沉积法，
以铁为触媒、氢气及甲烷为反应气体，并以875高斯的磁场使之产生电子迴旋共振效应，
于矽基材上合成具准直排列的包覆铁碳纳米结构。碳纳米结构更进一步做退火后处理，
条件为875高斯的磁场下、真空中(10-3 torr)持温640oC、四小时。
主要制程参数包括气源中氢气/甲烷之比例、基材偏压。并以扫描式电子显微技术(SEM)、
高解析度穿透式电子显微技术(HRTEM)、X射线绕射(XRD)、拉曼光谱技术(Raman)、
X射线能量散佈分析仪(EDS)、原子力(AFM)及磁力显微技术(MFM)、
超导量子干涉仪(SQUID)及场发射J-E测量(I-V curve)，来量测在每一个制程步骤形貌、
结构、键结以及磁性质。从此研究中可得以下结论：
关于氢气/甲烷比例之影响，结果显示在固定甲烷流量下增加氢气流量或固定氢气
流量下减少甲烷流量，有助于生长长度较短、直径较小的碳纳米管。
因为氢气具有优先蚀刻碳纳米管非晶质碳的能力胜过碳纳米管的石墨层，
而且高浓度的氢气意味着低的碳浓度、低的成长速率以及较强的蚀刻效应，
因此可以产生更短、更小的碳纳米管。就以记录密度和碳纳米管在垂直方向的刚性来看，
较短和较小的碳纳米管或颗粒状碳纳米结构是非常适合作为磁记录媒体应用。
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