西城纳米陶瓷材料显微结构需使用电子扫描显微镜

作者：发布时间：2022-07-02 20:42:56点击：843

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纳米陶瓷材料显微结构需使用电子扫描显微镜

薄膜铁电材料，在非易失性铁电存贮器及微电子机械系统中，

有很广泛的应用前景。高密度的铁电存贮器，

单元尺寸已减小到30一100nm:在这样小的亚微米

尺度上，需要了解材料内微区物理性质，

如铁电畴的形成，极化反转机制，极化疲劳、极化保持和退化、老化行为。

利用以原子力显微镜为基础的扫描探针显微术，就能满

足以上检测目的，其分辨率达30 nm左右，

能观测到极化反转的细节，这对改进性能退化指出了途径。

另外，要了解纳米陶瓷材料显微结构，一般也离不开这类显微镜。

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