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三坐标测机采用光栅元件作传感器-测量光学仪器
目前，不少三坐标测机采用光栅元件作传感器，使用的光栅有玻璃的，也有金属的
三坐标测量机采用玻璃的光栅，节距为16μm，细分32份，分辨率为0.5μm。
光栅系统中为了提高光栅信号的纯洁性，采用了正弦余弦窗口进行滤波，以减小
细分误差。
目前，三坐标测量机一般都配有计算机，可以对测量结果进行处理和运算。
例如计算平均值，极限值，标准差名义值与实际值之差等。
根据指定的要求来测定尺寸，孔间距并
打出检验结果清单等。电子计算机亦可对仪器的测量工作实行数字程序控制，
实现测量过程自动化。
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