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零件表面光洁度测量使用何种仪器-测量显微镜
检查零件内表面光洁度的显微干涉轮廓仪在显微干涉轮廓
仪里，狭缝成像在被检表而上，这就使我们不仅可以检查有不规
则加工痕迹的表面，而且便于圆柱表面的检查。
实际上如果狭缝像平行于圆柱母线，则仪器视场中看到直条纹，
其宽度是不变的，与圆柱直径无关。特别有价值的，
是显微干涉轮廓仪还可以用来检查光洁度等级高的内圆柱表面，
过去，没有检查内圆柱表面光洁度的仪器，只能对主要零件进行抽检，
先要把它切开，然后在干涉显微镜上检验。
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