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SEM相比光学显微镜最主要的优点之一在于景深
SEM相比光学显微镜最主要的优势之一在于景深(眼睛能够清晰成像的物
体所处的位置范围)的增加。例如.在100 X的图像放大倍率下.SEM的景深
约为1mm，而在光学显微镜中为1μm。小的子L径能提供较大的景深，也能提高
分辨率。较短的工作距离也可用于高分辨率的工作.但这将导致景深降低。对于
背散射电子成像和X射线分析.较大的孔径和电子束直径能够用来提高电子束
电流以增加信号强度。但是，较高的电子束电流又能导致样品的损伤
在聚焦和记录图像时，往往从根本上降低扫描速度以提高信噪比。而寻找
感兴趣的区域时，一般进行快速刷新(25帧/s)。通过倾斜样品可以提高可检测的
SEM的另一个优势是可以通过检测特征X射线来绘制元素分布图由于收集的X
射线源自较大的体积范围.因此元素分布图的分辨率低于相应的SEM图。不过，
元素分布图对检测样品的均匀性是很有用的。
在SEM中，场发射电子枪的使用已经使ICI像分辨率得以提高具有数个纳米级
分辨能力的SEM对凝聚结构中单个粒子例行成像是完全可能的。
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