西城Uv光源的电子发射显微镜可以实现10nm以下的空间分辨

作者：发布时间：2022-07-02 20:30:45点击：437

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Uv光源的电子发射显微镜可以实现10nm以下的空间分辨

光电发射电子显微镜(photoemission electron microscope, PEEM)是用电子

透镜直接将发射的电子成像到一个屏幕上并将电子图像转换成可见光图像.台

PEEM的发明要追溯到20世纪30年代，伴随着电子透镜和所谓的发射显微方法

的建立.Briiche等于1932年以Uv为光源得到了从金属发射的光电子的图像,

其主要的设计理念沿用至今.八九十年代，Rempfcr等改进了电子光学系统，其结

构类似于低能电子显微镜(low energy electron microscope, LEEAI).这种技术的改

进得益于几个相关领域技术方面的突破，其中包括制备超高真空配件的材料质量

的提高、表面敏感的结构和化学分析方法(特别是光电子能谱)的发明和发展、图

像增强剂和电子/光子探测器的快速发展、大功率低发射度同步辐射光源的建设等.

目前利用Uv光源的电子发射显微镜可以实现10nm、以下的空间分辨，利用X射

线可以实现几十纳米的空间分辨，实际的目标已经接近发射显微方法在能量分辨和

空间分辨上的物理极限，空间分辨即指低能电子的平均自由程.而纂于同步

辐射的高亮度、波长可调以及偏振性而发展起来的PEEM则进一步克服了以往基

于常规真空紫外和X射线光源的光电子显微术非元素灵敏的缺陷，从而为研究表

面与界面的化学特性与磁性等提供了前所未有的机遇.但PEEN-1技术不仅限于表

面和薄膜的研究，近年来也已经扩展到生物学、医药学、地质学等新领域，

特别是在磁性材料的研究中己经发挥了重要的作用.

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