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金刚石切削技术同时加工出该基准环和光学通光孔径
与基准反射镜一样，在测量或者/和探头光路中使用辅助光学元件时，该
辅助元件的质量不能对测量有大的影响，或者通过标定消除其影响。大多数实
际情况中，使用经过标定的球面反射镜。此外，更先进的干涉图分析软件的确
能从侧量数据中减除被存储的波前，利用该特性的一种方法是将经过标定的标
准物体放置在待侧系统的位置，并完成侧量，从而确定并减除该系统特征的
影响。
使用干涉仪测量，除了定位条纹外，正确校准待测样品是另一个非常重要的
问题。在所有分幅干涉仪中，样品都是干涉仪的一部分，所以，样品校准对侧量
精度起着重要作用，为此，应充分利用注塑模压成型光学元件的优点:很容易设
计产品基准标志和对准标志。下面例子中，在透镜通光孔径附近设置一个平面基
准环，采用金刚石切削技术同时加工出该基准环和光学通光孔径，因此，基准环
与光学通光孔径之间具有的相互关系.校准待测样品使透镜基准环相对于人
射光束的倾斜量降至最小。
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