西城测量和记录有凹凸不平形状的样品的工具显微镜
作者: 发布时间:2022-07-02 20:29:48点击:432
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测量和记录有凹凸不平形状的样品的工具显微镜
用以测量和记录有凹凸不平形状的放大记录装置有机械式和
电动式二种。前者由机械杠杆包括光杠杆,把位移量加以放大,
将记录笔作为一个放大杠杆用;后者,把位移量转变为电信号,
利用这放大后的信号,使振动头或记录笔动作。
这些方法中不论哪种方法,简单的机构,几乎都用简单杠杆
组成,所以除了有纵向放大倍率的变化外,还有记录图形的失真。
下面叙述一下这种机构。
利用接触式检测装置连续测量形状时,
录图形的失真问题同时成为问题的是:测量头及和它相连结的一
系列的放大机构应该按照形状的凹凸不平,必须毫无差错地迫随
着。
对提高测量效率,在短时间内进行形状测量时,亦即是在接受测
量头运动频率高的时候就成为一个重要的问题了。
因此,为了解决这个问题,在这一章里就以杠杆为主体的放
大机构中的动态测定力(以下简称为测定力)和跟随特性问题,
在理论上加以研究,并通过实验来论证,以求得在机构设计上必
要的各种关系。这对高效率的形状测定器检测装置机构设计说来
是必要的基础资料。
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