西城金属膜厚度测量用便携式金相显微镜

作者：发布时间：2022-07-02 20:29:35点击：392

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金属膜厚度测量用便携式金相显微镜

在薄层淀积前后，称量衬底，如知道面积与密度便可计算出平

均厚度.对于外延层，能十分地知道密度，但由于难于完全

阻止在背面上的生长(很定衬底是放在某种加热器上)，就很难知

道面积.相反，对于用真空技术沉积的金属膜则不可能地知

道密度，但一般面积是可确切地知道的.在淀积时，连续称量切片

重量(更适于热墙方法，在此方法中切片是悬挂着的，同时能在两

面淀积)可测出膜厚随时间的变化.

尽管这种方法的原理十分简单，但它存在着若千相当严重的

.缺点.例如:(1)它只能提供一个平均值;(2)它要求所有的切片从

次称重经过沉积到最后一次称重都能保持它们的同一性(在

大量生产中这是十分困难的);(3)它需要控制或测量薄膜的面积;

(4)对于在厚衬底上的非常薄的层，要求一个仪器同时具有所需的

灵敏度和大的侧量范围将是很困难的;(5)如果把这个方法用于外

延层测厚，就不能使用在沉积前就地腐蚀的衬底.

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