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多晶形貌显微分析用金相显微镜-截面测量
反射几何也可应用于形貌照相，如果被检验的是表面或似外
延层那样的薄层，则最为适宜.已经采用了类似于透射形貌照相
中所用的某些改进办法，例如，双晶单色器以及使用选择挡板来限
定观察截面等咖·翎.白色辐射和大截面的x射线束也能用来拍
摄形貌照相图.用这种方法拍的斑点也是大的，并将显示出结
晶学细节.这种方法特别适宜于对可能包含多晶区的晶片快速地
作形貌图
可选用不同的衍射平面来拍摄形貌照相，需要考虑的是哪个
平面能显示要观察的特定位错，而这种位错可用它们的方向和柏
格斯矢量来表征
已经制作了各种专用的照相机.例如，已用一个光导摄象管
来代替底片，便得能够立刻观看图象.采用高温试样室，就能
检侧位错的运动，事实上能够原位检验高温工艺过程的有害影
响.有关设备、注意事项和说明等等进一步的细述可从参考
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