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测量直径用影像型工具显微镜制造厂商
在利用直径两边缘绕射象之间的问隔测量直径的测量装
置中，必须有驱动部分及显象部分。驱动部分的作用是使测量
绕射象的光学系统的二光轴间隔始终等于被测工件的公称尺寸。
而显象部分的作用是把两个绕射象各放大20倍，再把经
过放大的象，用光导纤维束在圆周上等间隔地呈环状排列，制
成转子。匀速地转动转子，用光电法检测环状纤维端部的明
暗位置，这样就可以通过求回转位置来求出绕射象的直线距离。
为了研究主轴的旋转精度，可以采用沿半径方向测量回
·转型刀具的回转精度的新方法。测量系统由位移传感器和高
精度的校正球(或者校正凸轮或校正棒)组成。当主轴回转
时，可以测出传感器与校正球的间隙变动量，以极坐标表示于
阴极射线管上.，便得到与加工状况相对应的回转精度。
此外，还可以把两端为球形的校正棒安装到主轴上，三个
位移传感器安装在刀具的位置上，测出它们之间的间隙变动
盆，根据阴极射线管上的极坐标显示，就可以与加工状况相对
应地测出工件回转型的主轴的径向跳动及轴向窜动。
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