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机器零件表面的括粗糙度、波度和形状误差测量显微镜
机器零件表面的不平度包括粗糙度、波度和宏观形状误差。宏观形
状误差是属于单一的、经常是不重复的实际表面对于几何表面的误差
（如轮廓峰高、轮廓谷深和锥度等）。波度则是周期性的、经常重复
和尺寸相近的波峰和波谷的总体，同时波峰和波谷之间的距离比形成
表面粗糙度的微观不平度要大，并超过了用来评定粗糙度的取样长度
，波峰之间距离（波距）范围为0.8-10mm，而波高范围为0.03-500μm。
表面粗糙度是指峰距较小，构成表面起伏及在某个取样长度l内进
行测量的微观不平度的总体。微观不平度峰距的变化范围为2—800μm；
高度的变化范围为0.03-400μm。
此外，在形成粗糙面的轮廓峰上还有更小的不平度——亚微观粗糙
度。对于亚微观粗糙度没有制定标准。因为目前还没有研制出很可靠
的工具对它进行评定，但是，它在接触过程中是具有重要作用的。
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