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加工精度测量显微镜-孔的加工精度达0.75微米
如前述，主轴的回转精度与加工精度密切相关，因而正积极
地研究以下问题以改进主轴部件并提高其回转精度;回转精度
的评定方法，”回转精度与加工精度的关系，回转精度与结构型式
的关系，切削刀具与工件表面的关系，高精度的主轴回转精度测
量仪的研制等。
加工燃料喷嘴类的小孔时，
该装置利用贴于锥形键杆尾部的半导体应变片，检测出装于m杆
头部的硕质合金刀片的位移(检测梢度为0.0255m)，然后将检
测出的信号反馈给固定于键杆安装部位的层状压电元件，籍助磁
致伸缩效应而对量杆的变形进行校正。使用此装置可使孔的加工
精度达0.75微米
在外圆磨削和撞削时，圆度往往是一个问题.在V2削方面，
在磨削方面，使用涡流式传感器的方法。即使在车削方面，
所示测定加工表面波度的例子。这种传感器是将投
射光和接受光用的光导纤维捆在一起，插入刀杆中，然后测定来
自加工表面的反射光。并将用此法测得的反射光分成三个频段，
从低频段到高频段依次求出尺寸误差、表面波度及表面祖糙度。
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