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精密加工工艺轮廓测量仪器-微量加工显微镜
氮化在低温（约900°F或483°C）时进行，不需淬火，故变形小。在通常情况下，工件
材料，首先进行热处理，以获得工件芯部所需要的性能（例如，采用淬火-回火工艺，获
得一定的硬度和满意的韧性，但仍能进行机械加工）。精加工后，进行氮化。如果需要
，可在氮化后进行磨削。氮化并不影响工件在前工序建立的芯部性能。有时在氮化前，进
行去除应力，然后半精加工，这样就能够完全避免变形。
气体氮化，是最精密的工艺，对工件需要进行初步的表面准备。工件先在酸中清洗或用
喷沙清理，以获得必要的表面组织。工件如果处理不当，会产生氮化不均匀，而且进行很
缓慢。
与渗碳相比，氮化的些内在的缺点。首先，可氮化的材料，有一定的限制。此外，某些
氮化合金价昂，且不易加工，而且加工循环时间以及预处理工件表面有成本高。最后，由
于氮化表层很薄，工件在热处理后，只能进行微量加工。
氮化工件在热处理后体积会膨胀，棒料的长度增加，套筒的直径加大。由于氮化处理后
，只能切除很小的表层材料，所以大多数工艺人员，在制造工件时，须预先估计尺寸变化
。实际上，只在进行精密工艺控制，并作初步试验，大部分工件能够设计成使膨胀后正好
等于工件所要求的尺寸。
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