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玻璃基板熔融炉加工样品检测金相显微镜
对于制造高质量的掩膜版玻璃基板来说，对熔融炉工作参数
的控制是十分关键的。无论是原料还是熔融炉中的杂质都应受到
严格控制。在生产过程中，钠一类的杂质是很容易混入的，因此
必须严格控制操作人员和操作设备，以防纳和其他杂质混入熔融
炉中。
假定玻璃的成分是均匀的，一那么我们可以说玻璃已满足了成
分要求。尽管如此，我们仍可在玻瑞中看到一些不规则的缺陷，
例如气泡、.粒子或其他结构不均匀性带来的缺陷。
在玻璃生产过程中，气体会进入熔态融的玻璃中，并一直留
在玻璃板内形成气泡。存在气泡的区域的折射率不同，假如这些
区域不被铬图形理盖的话，就会影响到圆片上的图形成像。
在玻璃中还可能存在未溶解或未熔融的原料玻璃。在熔融过
程中，偶然也会由其他因素造成玻瑞基板中的其他不均匀结构，
这些不均匀性同样也会造成光学崎变，从而破坏光刻均匀性。.
检查玻璃表面质量是检测掩膜版玻璃基板缺陷的另一种方
法。玻璃体内的缺陷，假如接近表面的话，常常可以通排研鹰和
抛光方法来清除，只要研磨抛光后的基板厚度仍能满足要求。气
泡、粒子和玻璃体内其他的不规则缺陷就常常可以通过这种方法
去除。正如玻璃体内的缺陷可以去除一样，玻璃表面的缺陷也可
以通过清洗或抛光来去除，
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