西城表面的显微结构测量仪器-粗糙度测量显微镜

作者：发布时间：2022-07-02 20:22:58点击：323

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表面的显微结构测量仪器-粗糙度测量显微镜

现已能使血象与物体很好地巫合，此时物体可能在应力作用

下发生变形，或物体在释放应力后发生了流动、爬行、缩小或膨

胀，结果使从一个观察点到位移表而任一点的光学距离相对于它

到比较面(虚象面)上相应点的距离发生变化。表面上各点到照

明N表面的光源的距离也发生变化，因此从相同但发生了位移的

表面面积(具有相同显微结构的而积)漫射的相干光线，在从光

源到达观察面时，产生了相对的位相移动。这一位相移动的结果使

波振幅相加或相减，产生了可见的干涉条纹。这些条纹图形表征

了物体表面的形变。当物体表面发生变化时可以同时看到干涉图

形的变化，因此得到实时全息干涉的名称。很明显，应力引起的

形变不能明显地改变表面的显微结构。由于粗糙为表面是一个随

机的散射体，因此表面粗糙度的任何显著的改变都可使物体反射

的光波增加一个随机的位相分布。物波和再现的物波将形成一高

空间频率的干涉图形，不能再用我们有兴趣的低空间频率的表面

变形来说明。

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