西城电子显微镜光源是用聚得非常细的电子探针束

作者：发布时间：2022-07-02 20:17:52点击：341

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电子显微镜光源是用聚得非常细的电子探针束

扫描电子显微镜，是用聚得非常细的电子探针束，在试

样表面上逐点扫描，并把照射位置上发射出来的二次电子

、反射电子、吸收电子、透镜电子、光子及X射线等信号检

测出来加以放大，以此信号调节与电子探针同步扫描的阴

极射线管上的亮度，从而在阴极射线管的荧光屏上得到试

样的放大像，这样可不必制备复型，而直接观察试样表面

，其景深很大（立体咸极强），放大倍数可以从低倍支高

倍（二十几倍到几十万倍）连续变化，利用其X射线分析装

置可进行电子探针微区成分分析。现有扫描电镜的分辨率

低于透射式电镜，一般约为200埃，好一些的可达200埃。

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