西城电子显微镜光源是用聚得非常细的电子探针束
作者: 发布时间:2022-07-02 20:17:52点击:341
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电子显微镜光源是用聚得非常细的电子探针束
扫描电子显微镜,是用聚得非常细的电子探针束,在试
样表面上逐点扫描,并把照射位置上发射出来的二次电子
、反射电子、吸收电子、透镜电子、光子及X射线等信号检
测出来加以放大,以此信号调节与电子探针同步扫描的阴
极射线管上的亮度,从而在阴极射线管的荧光屏上得到试
样的放大像,这样可不必制备复型,而直接观察试样表面
,其景深很大(立体咸极强),放大倍数可以从低倍支高
倍(二十几倍到几十万倍)连续变化,利用其X射线分析装
置可进行电子探针微区成分分析。现有扫描电镜的分辨率
低于透射式电镜,一般约为200埃,好一些的可达200埃。
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