西城采用使试样表面每一点都可以整个照射的方法

作者：发布时间：2022-07-02 20:17:00点击：329

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采用使试样表面每一点都可以整个照射的方法　　　　　　　　　　　　　

采用使试样表面每一点都可以整个照射的方法，上述缺点可

以消除，该方法由科勒发明，科勒照明法遵循以下两个准则。

1 、光源通过会聚透镜在聚光器的焦平面上成像，因此，从

一点出发的光线通过聚光器后互相平行，光线和试样（表面）发

生交互作用，通过物镜之后，非衍射的平行光线会在物镜的焦平

面会聚并发生光源的二次成像，在这里，光通过试样发生衍射进

而生成试样的衍射花样。

2 、聚光器可以同时在试样表面形成可变光圈，即在聚透镜

附近的视场光圈，采用这种方法，试样光照部分就可以限制在视

场之内，这样就避免了与视场之外的“虚假”光线发生干涉，这

些光线来自试样的结构特征和显微镜中透光部分衍射的作用。最

后，可变光圈即孔径光圈被放置在聚光器的焦平面，这就可以控

制照射试样的光线的孔径角，而分辨能力和视场深度取决于孔径

角。

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