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与所有的显微镜一样，SEM影像的判读也是主观的
扫描电子显微术
在扫描电子显微镜(SEM)中，当电子探针扫描样品表面时就会形成影像
同时产生二次电子、背散射电子、X射线、俄歇电子和不同能量的
光子。SEM利用这些信号产生样品的三维表面特征, SEM有许多优
点，包括景深大、可用低放大率研究大体积样品、影像真实感强;另外，由于样
品后面没有透镜，像差更小，因此样品本身就决定了分辨率。
在典型的SEM中，由电子枪和多重聚光透镜产生电子束，其射线成一直线
通过扫描电磁铁圈。电子枪中电子加速电压范围为60 ---100kV(千伏)。钨丝是
电子枪的照射源，加热到接近2 700K，加热钨丝使得钨丝的释放电子。样
品表层形貌的影像是由反射(背散射)电子或是释放(二次电子)电子产生的。
在样品表面覆盖薄的导电金属，例如金或把甚至碳，可以增加SEM的对比度。
影像是电子束(直径2---200A)沿着样品表面来回进行光栅扫描(rastering)产
生的。在沿着每一条扫描线的每一点上，光束斑点和样品之间相互作
用产生信号。与此同时，根据产生的信号在阴极射线管表面形成视觉影像，就和
形成电视图片的方式一样。与所有的显微镜一样，SEM影像的判读也是主观的，
尤其因为SEM影像是高分辨率、高对比度，并且所产生形貌的焦深是变化的。
SEM的样品制备相对简单，一般的顺序是:①用乙醛溶液将样品固定;②样品
脱水(因为SEM必须要求样品在真空状态下);③将样品安装在金属短棒上;
④用导电性金属薄层援盖样品。
客服1