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微电子器件细小微粒测量多功能金相显微镜
工艺用水净化
水是微电子器件生产中使用最广泛的原材料之一。在
各种制造工艺和有关操作中，水既可用作介质，又可用作
载色剂。除了一般用途外（锅炉供水、空调等等），工艺
用水在制造工艺方面，间接用作冷却介质，直接用作溶液、
电解液、清洗、蚀刻和冲洗。在上述情况下，要将污染控
制在某一限度内，必须采用一定的水处理方法。只有将污
染控制在一定范围内，水质才能满足制造工艺的要求，这
种水才能直接用于加工过程，这是十分关键的问题、本章
提出了直接用于微电子生产过程的高纯水的标准，在微电
子生产过程中污染控制是极其重要的。本章还阐贮了水处
理方法、处理依据，以及由此而得到的益处。
凝结为了去掉水内很细小的微粒，人们必须采用某些
形式的凝结与絮凝j 凝结是引进带有负电荷的物质（微粒），
仪这些细小微粒上的电荷中和。如果把pH控制在5.5 到8.0
，而且又有强刚离子的时候，例如存有氯化物或硫化物的条
件下，凝结是最有效的。
在凝结过程中常用铝盐或铁盐，例如明矾（硫酸铝）
或硫酸铁。它们形成絮凝物氢氧化铝或氢氧化铁。这些氢
氧化物沉淀卅正电，它们使水内的硫酸根或氯根的负电荷
中和，从而使细小颗粒凝结成多孔的胶状沉淀物。
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