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激光测量表面粗糙度的原理激光的特点是亮度高
干涉显微镜是高精度光学仪器，要按标准进行定期
检定。
激光测微仪
激光测量表面粗糙度具有速度快、效率高、数字化等优
点，为机械加工中主动测量粗糙度开辟了新的途径，因此近
年来受到广泛注意，发展很快。
1．激光测量表面粗糙度的原理激光的特点是亮度高、
方向性好、干涉性强。当一束激光以一定角度照射到金属表
面时，除一部分光波被金属吸收外，大部分拨反射和散射。
反射光和散射光的强弱与被照射的表面粗糙度有关。
反射光集中于小面积上，形成由许多光点组成的光斑；
散射光分布在反射光斑的两侧，形成由许多光点组成的光带。
光斑和光带构成了特定的图谱。图谱的形状与入射
光的方向、表面的形状以及表面粗糙度有关。
据被测表面的各种粗糙度级别与之对应的图谱的特点，可以
很容易评定被测表面的粗糙度级别。评定方法是利用图谱比
较和光电转换方法。
图谱比较法是以标准图谱作为标准，在测量时，将被测
件在仪器上呈现的图谱与标准图谱进行比较，以判断被测表
面的粗糙度级剐。用这种方法得不到粗糙度的具体数值。
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