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在工业制品中有许多棒状制品和棒状零件轮廓测量显微镜
利用样板光栅检测异常部位
在工业制品中有许多棒状制品和棒状零件，迫切要求有能够迅
速而简单地检测出棒状物体表面形状的异常、部分形状变形、划痕
和凹陷等的测量方法．在检测棒状物体例如检查象油缸圆筒面表面
的部分凹陷时，若使用通常的莫尔拓扑测量法进行测量，由于圆筒
面形状形成的莫尔条纹等高线表现的极为明显，而凹陷造成的形状
变化却不能清楚地显示出来．这种情况，可根据圆筒的形状制成样
板光栅，若用它来进行莫尔拓扑测量，就不会形成圆筒形状的等高
线，而只是在凹陷部位产生等高线莫尔条纹．它能简单地检查出凹
陷的部位，并能确定凹陷的形状．图3．66表示用该方法检测铝罐
表面的凹陷部位的例子，该图(a)是用通常的莫尔拓扑法，图(b)是
使用样板光栅的莫尔拓扑测量法．检测灵敏度取决于等高线的间隔
，此时是重．Omm．可以明显地看出使用样板光栅的方法对于检测
凹陷是有用的．(a)使用平面光拦
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