西城扫描电声显微镜是自行研制一种新型显微成像工具

作者：发布时间：2022-07-02 20:05:03点击：364

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扫描电声显微镜是自行研制一种新型显微成像工具

SEAM成像的基本物理过程

当一束电子入射到样品上时，电子与样品发生相互作用产生各种效应，这些效

应就构成了各种成像的信息基础。根据所获得的不同信息进行成

像，就产生了各种各样的电子显微镜。在以上的各种信息中，如果利用扫描电子显

微镜技术检测从样品背面传出的声波，就形成了扫描电声显微镜技术。如果以热

波耦合机制为基础，扫描电声显微镜成像的基本物理过程如下：当～束强度受调制

的电子束入射在样品表面上时，在距样品表面一定的距离内，电子与样品发生相互

作用，电子的部分能量(大约40％～80％)将转化为样品的热能。理论分析表明，

电子损失能量的区域大致为一球形，在这球形区域内，由于电子的能量是按一

定频率调制的，故它相当于一个瞬时热源，这热源的温度变化也同步于调制频率而

改变，其性质类似一热波

扫描电声显微镜是自行研制的一种新型显微成像工具，整个系统最终实现了

用计算机进行电声信号采集和图像处理。

(1)电子束发生器；(2)电子束强度调制器；(3)电声信号处理器；(4)试样和探测

器组件；(5)图像显示器；(6)计算机控制系统。

扫描电声显微镜在扫描电镜级透镜前加了一对偏转板，由脉冲功率放大

器控制。偏转板上的周期调制信号使电子束能量进行周期性的变化。样品背面有

一PZT型压电探测器接收电声信号。从探测器接收的信号非常微弱，经前置放大

器处理后送往锁相放大器，然后再送往图像显示器或经计算机处理后进行电声成

像。由于扫描电声显微镜同时具有普通扫描电镜的功能，因此，可以同时观察样品

的电声像和二次电子像。

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