西城探针式表面轮廓仪常用于一般微米级结构的量测

作者：发布时间：2022-07-02 20:58:28点击：1273

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探针式表面轮廓仪常用于一般微米级结构的量测

探针式表面轮廓仪常用于一般微米级结构的量测，具有简单、快速与低成本，不受试片透光性与导电性的影响，

为一简便的非破坏式几何检测，常用于一般成形产品的量测等

研究侧光式导光板上38 μm至50 μm的V沟微结构，以表面轮廓仪量测特征高度，来判断热压与射出导光板的成型转写率。

但其量测精度受限于探针半径(R)及外形，当V沟特征为连续、下凹、底宽太小或探针角度(θ)大于V沟斜面夹角(ζ)时，便无法正确量测特征几何参数。

如图 1所扫瞄出的沟深度与斜面角度与实际有很大的差异。本文探讨探针式表面轮廓仪应用于微米V沟特征量测的策略，

分析探针扫瞄轨迹与实际V沟参数的几何关系，藉以估测V形沟槽的特征尺寸，并应用于模仁特征检验与导光板成型的转写率评估

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