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显微镜量测技术
量测技术
能达到原子级解析度的仪器：
穿透式电子显微镜(Transmission ElectronMicroscope ： TEM) 与扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope：SPM)。
而场发射扫描式电子显微镜(Field Emission GunScanning Electron Microscope：FEG SEM)发展快速。
目前解析度已可达到0.6nm
利用X光绕射分析计算颗粒大小，因具快速性与方便性
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