西城光学仪器定制-3D光学式非接触的影像量测仪

作者：发布时间：2022-07-02 20:58:05点击：1191

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光学仪器定制-3D光学式非接触的影像量测仪

3D光学量测是近代量测模式的重要发展，在过去量测物体表面形貌，一般都是利用接触式的探针量测仪，利用针头直径约为5mm的探针，

轻轻的刮过物体表面，藉由探针的起伏反应得知刮过部分的表面形貌，但这仅仅得知的是单一条线的2D曲线。

但在近年来各种高科技产业的元件不断的追求轻薄短小的情况下，制程技术不断的进步，各种光电元件的间隙几乎都小于5mm，

原先的探针头无法深入物件底部进行量测，

所以接触式表面分析不论是在产线监控亦或制程研发皆无法符合大部分制造商的需要，因此光学式非接触的量测仪器逐渐被市场所采用。

在光学式的量测仪器当中，共轭焦以及干涉式的量测仪器一直都各有擅场，共轭焦拥有比较好的XY方向的解析度以及能量测较大的斜率，

并且在量测较大的Z方向范围有操作较为便利，但干涉仪在量测Z轴尺度<0.2mm的拥有比较好精度，并且不会因为同一样本表面有不同的反射率而影响结果的準确性。

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