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对荧光频域敏感的CCD照相装置与分析-荧光显微镜厂商
准分子激光系统架构
准分子激光加工系统 Series 7000 型，其波长为 248 nm 的 KrF 深紫
外线准分子激光（Lambda Physic LPX210）。更大激光操作频率为 100
Hz， 更大输出能量 700 mJ，更大输出功率 56 W。
并具有能量衰减器（attenuator）可调节穿透能量由 10% 到 95%。
输出激光光束尺寸为 12mm X 12mm，输出激光光束均匀性为±5%。并可使用 NA 值为
0.2 的十倍镜将激光光束尺寸缩小为 1.2mm X 1.2mm，此时更大能量
密度为 10 J/cm2。
（1）激光光源：脉衝式 KrF 准分子激光，波长为 248nm，还有一组
光路校准用 He-Ne 激光。
（2）巨观与微观光路传输系统：内有光能量调变器、光束能量均匀
化微透镜阵列、投影光学透镜组。
（3）工件加工监视系统：采用黑白 CCD 照相机与显示器监控处理工
件及准直时的状况，并具备影像处理软体作加工尺寸的量测。
（4）光束波形诊断与激光能量监控装置：对紫外频域敏感的 CCD 照
相装置与分析软体，可线上调整及监视工件上的光束能量分布
与能量密度分析。
（5）工件与光罩定位平台、系统整合控制平台。
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