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电子显微镜是以电子取代光波作为照明光源，以电磁透镜替代玻璃透镜來
偏折电子，所以必须在强大而稳定的电压与电流及极高的真空度下才能正常运
作。当电子撞击在标本上，如果标本很薄，电子可以未碰到任何障碍而直接穿
过标本，即是穿透电子（Transmitted electron）；如果电子撞击到标本成份
原子的原子核，因为电子和原子核质量相差太大，电子会反弹或偏折，反弹出
來的电子称做背向散射电子（Backscattered electron），而偏折的电子称做
散射电子（Scattered electron）；假如电子撞击到标本成份原子外围环绕的
电子时，除电子本身发生偏折外，被撞击的电子也可能因此而脱離原子，此种
电子称作二次电子（Secondary electron）；当电子被撞離其原來的电子轨域
时，其他能阶的电子会补足过來，这种能阶上的变化会释出能量，随着原子序
的不同，不同的能量放出不同特定波长的 X 射线。这些电子和 X 射线，就是各
种电子显微镜呈像的依据；穿透式电子显微镜（Transmitted Electron
Microscope, TEM ）是以穿透电子來呈像，而扫描式电子显微镜（Scanning
Electron Microscope, SEM ）则是利用二次电子或背像散射电子來呈像，因
不同原子序原子放出不同波长 X 射线，所以可利用其作为样品成份元素分析
电子显微镜的构造複杂，操作上较光学显微镜困难，因此必须具备熟練的
技巧以及清晰的校正能力；
由于观察的目的在超微细构造，而样品处理的
好坏亦会影响观察的清晰度。所以学习制作好的样品、电子显微镜的熟練操作
技巧以及校正能力，甚至纯熟的暗房操作技术
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