西城显微量测仪可以对微细部位之精密表面轮廓量测

作者：发布时间：2022-07-02 20:56:16点击：1166

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显微量测仪可以对微细部位之精密表面轮廓量测

自动光学三维显微量测系统，利用微数位镜式显示器 (Digital Micro-mirror Display,DMD)、

影像光纤及微数位光学投影与取像系统，开发一套具分离式微量测探头之可携式数位三维显微量测系统，

它除可进行一般三维表面轮廓高垂直解析度与精密度之微细元件精密检测，

亦可进行量测大型样本(或具狭窄空间)微细部位之精密表面轮廓量测。

以应用DMD 投射出结构光条纹，经準直镜组、影像缩放镜组、聚焦物镜、同调影像光纤束(coherent image fiber bundles)

及影像放大镜组等光学系统设计与整合，将结构光条纹以俯视角度投射到待测元件之表面轮廓上，再藉由高解析之CCD 相机将影像撷取至电脑中，

进行影像之前处理(Image conditioning andprocessing)，

三维数据运算处理(彩色多波长相位移法与共焦深度扫描法)及三维影像叠合与重建等重要过程，

以获得精密之三维量测数据与实体轮廓之三角网格(STL)等资料

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