西城了解入射光的角度散射特征-精密光学仪器

作者：发布时间：2022-07-02 20:52:21点击：1151

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了解入射光的角度散射特征-精密光学仪器

利用一阵列式检光感测器对于表面光散射做纪录分析。散射光能量及角度涵盖量

会随着表面粗糙度的变化而改变，表面粗糙度越大，散射光的能量也越大，

涵盖角度也会变大。实验的设置乃根据反射定律决定光源、受测物与感测器的相关

位置如图2，入射角与反射角相等；因所针对的试片为金属，属于不可穿透之元件。

将光阵列感测器(S5668)设置于反射端，以反射光束为中心校正感测器的相关位置，

取量测距离(反射光束至感测器距离)26mm，固定感测器与试片的角度，

得知入射光经表面粗糙度所反应出的光散射效

应，并了解入射光的角度会对散射特征产生改变之情形为何。感测器夹持工具为

三轴且可旋转之平台，精度达0.01mm、1°；而工件夹持为一旋转平台，

可以随机且精准的校正彼此的相关位置。实验系统架设于精密光学桌上，

并以遮光布帘遮盖，以避免外界低频振动、光害等影响。将感测器上获得的光反射

与散射能量透过类比转数位转换送交撷取卡，再由电脑读取。以LabView软体设计撷

取、储存操作介面。再将储存的档案以数值分析软体开启，建立起图形分析。

系统元件取得容易，且实验架构具有可调性、可靠性、精密度与便利性，

针对平面元件的量测，皆可有效的利用

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