显微镜检测鱼粉扫描电子显微镜(SEM)的基本影
作者: 发布时间:2022-07-02 17:28:44点击:1056
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扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电子显微镜(TEM)和光学显微镜(OM)之间的一种显微观察方法。
(2)具有大景深、大视场和立体图像,可以直接观察各种试样的不均匀表面的精细结构。
入射电子束的光斑直径是扫描电子显微镜的极限,一般情况下,热阴极电子枪的最小光斑直径可以减小到6nm,场发射电子枪的最小光斑直径可以减小到3nm以下。
B.入射电子束在样品中的传播效应:扩散程度取决于入射电子束的能量和样品的原子序数。入射电子束能量越高,样品的原子序数越小,相互作用体积越大。电子束是,并且产生的信号的区域随着电子束的扩散而增加,因此降低了分辨率。
C.成像方法和调制信号:当使用二次电子作为调制信号时,由于其能量低(小于50eV)和平均自由程短(约10-100nm),二次电子只能在50-100nm的深度内从样品表面逸出。散射时间非常有限,基本上不会横向扩展,因此两个电子图像的分辨率近似等于光斑直径。
当使用背散射电子作为调制信号时,由于背散射电子的高能量和强的穿透能力,背散射电子可以逃离样品较深的区域(大约有效深度的30%)。因此,背散射电子图像的分辨率低于二次电子图像的分辨率,一般在500-2000nm范围内。
如果使用吸收电子、X射线、阴极荧光、束感应电导或电位作为调制信号,则扫描图像的分辨率较低,因为信号来自电子束的整个散射区域,一般从1000nm到10000nm不等。
扫描电子显微镜的放大率可以表示为M=Ac/As模式下Ac荧光屏上图像的边缘长度以及样品上As电子束的扫描幅度。nas as。
目前,大多数商品的扫描电子显微镜(SEM)的放大倍数为光学显微镜和透射电子显微镜(TEM)的20-20000倍。也就是说,扫描电子显微镜(SEM)弥补了光学显微镜的放大倍数与透射电子显微镜(TEM)的差距。
景深是指在焦点之前和之后的距离范围,其中所有目标点都可以根据分辨率要求形成清晰的图像,也就是说,景深是可以清楚地看到的距离范围。
扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜的景深大10倍,比光学显微镜的景深高数百倍,由于景深大,扫描电子图像是三维的。取决于临界分辨力d0和电子束入射半角αC。临界分辨力与放大倍数有关。由于人眼的分辨力约为0.2mm,所以电子束的分辨率必须高于临界分辨力d0。通过改变光阑的尺寸和工作距离,可以调整电子束的入射角,利用小光阑和大工作距离使图像清晰,从该距离可以得到小的入射电子角。
原子序数对比扫描电子束产生的背散射电子、吸收电子和X射线对微区原子数的差异敏感,原子数越大,图像越亮,两原子的原子数越少。聚合物中各组分的年龄原子数差别不大,因此只有一些特殊的聚合物多相体系才能使用这种对比度成像。
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